晶圆单片清洗设备

~~喷淋/清洗装置摆臂工位——升降轴~~

通过组合高精度的αSTEP AZ系列和滚珠螺杆,在摆臂升降工位上提供了高精度定位的DRS2系列小型电动缸应用方案,与自行组装的机构相比,装置全长缩短、更紧凑。

适用于微小移动量·高精度定位

中空转子和滚珠螺杆螺母一体化的紧小型机体,可实现装置的小型化。由于不需要连接部件,减少因联轴器等连结部件而产生的精度影响,实现更高精度的定位。


驱动螺杆分为研磨滚珠螺杆滚轧滚珠螺杆2种:

【最小移动量】

0.001mm

【反复定位精度】

研磨滚珠螺杆:±0.003mm 

滚轧滚珠螺杆:±0.01mm

减少连结部件,实现省空间化

无需直线导轨和连轴器等连结零件,设备整体得以小型化。相较于自行组装的机构,所需的零部件大大减少。

节省设计与空间:安装于旋转平台上驱动机械臂的升降,一体化的小型电动缸实现简洁设计,无需过多的配件设置,机构紧凑。

免传感器,无需另设空间

搭载混合控制系统αSTEP AZ系列,除了实现装置的小型化、轻量化外,还能够检测管理位置信息、无需原点传感器、限位传感器等,节省了传感器及配线的设置,达到省成本和空间的目的。

断电时保护的带电磁制动

电源OFF时,保持停止位置。带电磁制动规格的采用,即使垂直安装,也不必担心维护作业中工作物掉落。

产品阵容

小型电动缸DR系列

搭载αSTEP AZ系列

丰富的产品种类:平台型、带导轨推杆型、推杆型和宽平台型型。

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小型电动缸DRS2系列

搭载αSTEP AZ系列

将步进电动机与滚珠螺杆实现一体化,能够执行直线动作的产品。

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订单总金额

19999.00

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