采用高效节能的αSTEP AZ系列步进电动机和直线导轨一体化模组，组成小型化、高刚性、低发尘量的电动滑台。

通过电动滑台实现步进电动机的高响应、低振动、无微振运行。包括直线型、折返型、无尘室对应，可根据装置空间、环境选用。

采用全长较短的折返型电动滑台，实现了装置的小型化设计。因此可满足产线的装置长、宽、高等空间限制。

与直线型相比，折返型全长最大可缩短136.4mm，有利于节省装置的空间。

工作台部分采用不锈钢板和滚筒构造的简易防尘构造，可阻止异物进入，抑制发尘。

●低发尘的滚筒构造●

工作台部分搭载低发尘的滚筒构造，与不锈钢板之间滚动接触，防止产生粉尘。

不仅抑制发尘，还能够提升不锈钢板的耐久性能。

●无尘室对应●

在低发尘滚筒构造的基础上，使用了低发尘的清洁润滑油，从而实现了ISO规格 3级✽（相当于FED规格1级）的清洁度。

在保持小型化的同时，实现高容许惯性力矩。

电动机的安装方向可作4个方向*的改变，可根据安装场所自由改变电缆线的出线方向。

 * 折返型为3个方向

●不需要外部传感器●

由于搭载绝对式编码器（ABZO编码器），因此，不需要保持位置信息的电池及原点传感器、外部传感器。

●高速原点返回●

・通常的原点返回

在感应限位传感器及原点传感器的同时低速检测原点，原点返回较为耗时。

・搭载AZ系列的原点返回

无需感应限位传感器及原点传感器，可高速移动到ABZO编码器存储的原点位置。

●无需电池●

采用机械式编码器，因此，切断电源后仍能够保持位置信息。因为不需要电池，故无需考虑出口海外时的限制等因素。