晶圆单片清洗设备

~~喷淋/清洗装置摆臂工位——旋转轴~~

中空旋转式传动装置DGⅡ系列可直接安装大惯性工作台及机械臂上!

减少机构设计、零件调配、组装状态调节等花费的时间与费用。

驱动多种机械臂规格·大容许惯性力矩

以下为各规格可驱动的大致机械臂参考长度及负载质量,实际选用请结合机构尺寸及驱动条件进行综合选型计算,可进一步洽询东方马达。

一体化・大口径中空孔设计

可直接将负载安装在旋转平台上,不仅省去传动机构,方便安装,更能通过中空设计实现由下而上的配线・配管。

大口径中空孔(贯穿)可用于布线复杂的配线、气动及液压配管等场合,使装置设计更为简洁。

大口径中空孔

旋转平台驱动清洗臂摆动,负载直接安装于旋转平台上,中空设计实现清洗液输送配管由中空部轻松通过,整体设计紧凑,减少因机构设计产生空间干涉。

搭载AZ系列的便利功能

方便的运行·设定

使用AZ系列的功能,能够通过中空旋转式传动装置的旋转平台执行坐标管理,可以实现以下运行:


・就近绝对定位运行,缩短生产周期(如图1

指朝向设定的目标位置,按移动距离最短的旋转方向执行驱动的功能,可缩短装置的生产周期。


・设定禁止进入范围,使控制简单、更安全(如图2

装置上有障碍物等时,可在旋转平台上设定禁止进入范围。


・缩短装置启动时间(如图3

出厂时已预设运行中空旋转式传动装置所需参数,可缩短装置启动时间。

产品阵容

中空旋转式传动装置 DGII系列

搭载无需电池的绝对式编码器AZ系列

满足用户的多样化需求:

①电动机水平方向产品;

②安装尺寸60mm产品(DC电源输入);

③电缆线出线方向向左、向右的产品。

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订单总金额

19999.00

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